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光学微电子车间净化工程

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光学微电子车间净化工程

2019-06-15
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光学微电子车间净化工程
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光学微电子净化工程的定义为通过空气净化工程将一定容量范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将房间内部之温湿度、洁净度、房间内部压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电把握在某一需求范围内,而所给于特别策划之密闭容量。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目上已噬想导体、精密制造、液晶制造、光学制造、地址板制造和生物化学、医药、食品制造等区域不可或缺的要紧装备设施。近几年来,由于 技术实现 之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在高技术发展上极为重视的porject。


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